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壓力變送器的最高精度能夠達(dá)到量程的萬分之五,因此其零點漂移是不能忽略的。單晶硅類壓力傳感器因精度高、響應(yīng)速度快等特點,對溫度的變化較其它類傳感器異常敏感。經(jīng)過試驗得出單晶硅的導(dǎo)電能力隨溫度的增加按指數(shù)規(guī)律增長,因此由單晶硅制作的壓力變送器受溫度影響后,傳感器的輸出信號將產(chǎn)生零點溫度漂移。
零點溫度漂移:理想情況下單晶硅上的組成惠斯頓電橋的4個擴(kuò)散電阻阻值是嚴(yán)格相等的,因而在電橋處于平衡狀態(tài)時,電橋的輸出電壓為零。但在傳感器加工過程中,由于被連接成惠斯頓電橋的四個擴(kuò)散電阻阻值不可能控制到完全相等,所以當(dāng)壓力為零時,惠斯頓電橋的輸出不為零,這種零點輸出將隨溫度的變化而產(chǎn)生漂移,即產(chǎn)生零點溫度漂移。
針對零點溫度漂移,壓力變送器在設(shè)計時采用溫度補(bǔ)償設(shè)計,減少溫度對傳感器的精度影響,在生產(chǎn)時采用多點溫度和多點壓力組合標(biāo)定的形式得出溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)矩陣,并在傳感器內(nèi)放置溫度傳感器,使在現(xiàn)場使用時實時采集過程溫度,然后利用三維數(shù)據(jù)擬合的方式,進(jìn)行軟件溫度補(bǔ)償,以較少溫度對零點的影響。